エッチング装置用ガスボックスアセンブリ
大手機器プロバイダー向けに特化した製造により、厳しい純度および真空完全性基準を満たす複雑なガス分配モジュールが提供されます。
リードタイム
6週間
テクニック
5軸CNC
精度
+/- 0.005mm
産業・半導体
専門的な製造ソリューションは、多様な半導体製造環境にわたってプロセスの一貫性を保証する、標準化された高性能コンポーネントを提供します。
認証 + コンプライアンス
ISO 9001:2015 |クリーンルームクラス100/1000 | RoHS とリーチ |セミ S2/S8 | AS9100D
2000 人以上の幸せな顧客
ISO9001
2015年認証
プロフェッショナルな製造サービスは、包括的なエンジニアリング ソリューションを通じて半導体ハードウェアの主要な課題を解決します。
最適化されたワークフローとプロアクティブなサプライチェーン管理により、重要なウェーハ処理コンポーネントの製造リードタイムが短縮されます。
高度な CMM 検証および計測システムにより、すべての機械加工部品がリソグラフィー装置に必要な厳しい公差を確実に満たすようになります。
エンジニアリングサポートには、激しい化学エッチング環境に耐えるように設計された高純度セラミック、フッ素ポリマー、高融点金属が含まれます。
98.9%
顧客満足度
700以上
成功した半導体プロジェクト
15歳以上
長年の業界経験
98%
納期厳守のパフォーマンス
専門の製造チームが舞台裏で活動し、ライフサイクル全体を管理し、リアルタイムでプロジェクトの更新を提供することで、生産要件を満たします。
戦略的パートナーは、エンジニアリング仕様を管理し、安全なデジタル資産の転送を調整することで、シームレスなコミュニケーションを促進します。
専門のエンジニアは、高度なモデリングの洞察と材料効率分析を提供して、複雑なハードウェアのパフォーマンスを向上させます。
物流の専門家は、一貫した生産稼働時間を維持するために、精密な流通ネットワークとリードタイムの最適化を調整します。
精密検査の専門家は、高解像度の機器を利用して、厳格な半導体業界の基準に照らして寸法精度を検証します。
専門的な製造サービスは、一貫した薄膜堆積とエッチングの結果を保証するために重要な真空コンポーネントとチャンバーハードウェアを提供します。
高度な材料統合により、極度の熱安定性と耐薬品性が要求される重要なハードウェアに高純度のソリューションが提供されます。
インコネルなどの特殊合金により、高温蒸着や真空チャンバー環境での耐久性と耐食性が保証されます。
精密機械加工された 6061 および 7075 シリーズ アルミニウムは、複雑なウェーハ ハンドリング システムに優れた導電性と安定性を提供します。
PEEK や Ultem などの高純度ポリマーは、特殊な湿式プロセス用途に不可欠な絶縁性と耐薬品性を提供します。
アルミナと炭化ケイ素のコンポーネントは、研磨プラズマ処理チャンバー内で重要な寸法精度と耐摩耗性を維持します。
特殊な表面処理によりコンポーネントの純度が確保され、重要なハードウェアが激しいプラズマ浸食や化学腐食から保護されます。
| 仕上げタイプ | 適用材料 | 主要な技術的特徴 | 環境適合性 | レイヤーの指定 |
|---|---|---|---|---|
| ステンレス鋼 | 非常に滑らかな表面により粒子のトラップが軽減されます | 特殊クリーンルーム | Ra0.1um~0.4um | |
| アルミニウム合金 | 耐摩耗性を備えた高い絶縁耐力 | プラズマ処理 | 20μm~50μm | |
| 金属 | 湿式プロセスツール向けの優れた耐薬品性 | 腐食性環境 | 5um~25um | |
| 金属とプラスチック | 激しいエッチングや化学薬品に耐性があります | 化学薬品の配送 | 10μm~100μm | |
| アルミニウム | 信頼性の高い導電性と酸化保護 | 電子アセンブリ | 0.2um~1.0um | |
| すべての素材 | 高真空システムのアウトガス削減 | UHVチャンバー | 該当なし |
機器メーカーやウェーハ製造工場との戦略的提携により、高精度コンポーネント エンジニアリングとスケーラブルな製造ソリューションを通じてイノベーションが推進されます。
大手機器プロバイダー向けに特化した製造により、厳しい純度および真空完全性基準を満たす複雑なガス分配モジュールが提供されます。
リードタイム
6週間
テクニック
5軸CNC
精度
+/- 0.005mm
高性能アルミニウム合金プレートのカスタム製造により、高度なウェーハ処理ツールの優れた熱均一性と耐プラズマ性が保証されます。
リードタイム
10週間
テクニック
機械加工+アルマイト処理
材質
アルミニウム6061
業界で規制されている検査プロトコルと包括的な認証により、すべての重要なハードウェア コンポーネントの寸法精度と材料の完全性が保証されます。
環境コンプライアンス: ISO 14001、ISO 45001、SEMI S2/S8 ガイドライン
専門的な製造能力は、さまざまな製造およびテスト環境に高精度のハードウェアを提供することで、半導体ライフサイクルのさまざまな段階をサポートします。