에칭장비용 가스박스 조립체
선도적인 장비 제공업체를 위한 전문 제조는 엄격한 순도 및 진공 무결성 표준을 충족하는 복잡한 가스 분배 모듈을 제공합니다.
리드타임
6주
기술
5축 CNC
정밀도
+/- 0.005mm
산업/반도체
전문 제조 솔루션은 다양한 반도체 생산 환경에서 프로세스 일관성을 보장하는 표준화된 고성능 구성 요소를 제공합니다.
인증 + 규정 준수
ISO 9001:2015 | 클린룸 클래스 100/1000 | RoHS 및 도달 범위 | 세미 S2/S8 | AS9100D
2000명 이상의 행복한 고객
ISO 9001
2015년 인증
전문 제조 서비스는 포괄적인 엔지니어링 솔루션을 통해 반도체 하드웨어의 핵심 과제를 해결합니다.
최적화된 워크플로우와 사전 공급망 관리를 통해 중요한 웨이퍼 처리 구성요소의 제조 리드타임을 단축합니다.
고급 CMM 검증 및 계측 시스템은 모든 가공 부품이 리소그래피 장비에 필요한 엄격한 공차를 달성하도록 보장합니다.
엔지니어링 지원에는 공격적인 화학적 에칭 환경을 견딜 수 있도록 설계된 고순도 세라믹, 불소 중합체 및 내화 금속이 포함됩니다.
98.9%
고객 만족도
700+
성공적인 반도체 프로젝트
15세 이상
수년간의 업계 경험
98%
정시 납품 성과
전문 제조 팀은 전체 수명주기를 관리하고 실시간 프로젝트 업데이트를 제공함으로써 생산 요구 사항을 충족하기 위해 뒤에서 운영됩니다.
전략적 파트너는 엔지니어링 사양을 관리하고 안전한 디지털 자산 전송을 조정하여 원활한 커뮤니케이션을 촉진합니다.
전문 엔지니어는 고급 모델링 통찰력과 재료 효율성 분석을 제공하여 복잡한 하드웨어의 성능을 향상시킵니다.
물류 전문가는 정밀 유통 네트워크와 리드 타임 최적화를 조율하여 일관된 생산 가동 시간을 유지합니다.
정밀 검사 전문가는 고해상도 장비를 활용하여 엄격한 반도체 산업 표준에 따라 치수 정확도를 검증합니다.
전문 제조 서비스는 일관된 박막 증착 및 에칭 결과를 보장하기 위해 중요한 진공 구성 요소와 챔버 하드웨어를 제공합니다.
고급 재료 통합은 극한의 열 안정성과 내화학성을 요구하는 중요한 하드웨어에 고순도 솔루션을 제공합니다.
인코넬과 같은 특수 합금은 고온 증착 및 진공 챔버 환경에서 내구성과 내식성을 보장합니다.
정밀 가공된 6061 및 7075 시리즈 알루미늄은 복잡한 웨이퍼 핸들링 시스템에 탁월한 전기 전도성과 안정성을 제공합니다.
PEEK 및 Ultem과 같은 고순도 폴리머는 특수 습식 공정 응용 분야에 필수적인 절연성과 내화학성을 제공합니다.
알루미나 및 탄화규소 구성요소는 연마 플라즈마 처리 챔버 내에서 중요한 치수 정확도와 내마모성을 유지합니다.
특수 표면 처리는 부품 순도를 보장하고 공격적인 플라즈마 침식 및 화학적 부식으로부터 중요한 하드웨어를 보호합니다.
| 마감 유형 | 적용 가능한 재료 | 핵심 기술 특징 | 환경 호환성 | 레이어 사양 |
|---|---|---|---|---|
| 스테인레스 스틸 | 매우 매끄러운 표면으로 미립자 트랩 감소 | 전문 클린룸 | 라 0.1um ~ 0.4um | |
| 알루미늄 합금 | 내마모성을 갖춘 높은 절연 내력 | 플라즈마 처리 | 20um에서 50um | |
| 금속 | 습식 공정 도구에 대한 탁월한 내화학성 | 부식성 환경 | 5um에서 25um | |
| 금속 및 플라스틱 | 공격적인 에칭 및 화학 약품에 대한 저항성 | 화학 물질 전달 | 10um에서 100um | |
| 알루미늄 | 안정적인 전도성 및 산화 방지 | 전자 어셈블리 | 0.2um ~ 1.0um | |
| 모든 재료 | 고진공 시스템의 가스 방출 감소 | UHV 챔버 | 해당 없음 |
장비 제조업체 및 웨이퍼 제조공장과의 전략적 협력은 고정밀 부품 엔지니어링 및 확장 가능한 제조 솔루션을 통해 혁신을 주도합니다.
선도적인 장비 제공업체를 위한 전문 제조는 엄격한 순도 및 진공 무결성 표준을 충족하는 복잡한 가스 분배 모듈을 제공합니다.
리드타임
6주
기술
5축 CNC
정밀도
+/- 0.005mm
고성능 알루미늄 합금 플레이트의 맞춤형 제작으로 고급 웨이퍼 처리 도구에 탁월한 열 균일성과 플라즈마 저항이 보장됩니다.
리드타임
10주
기술
가공 + 아노다이징
소재
알루미늄 6061
업계에서 규제하는 검사 프로토콜과 포괄적인 인증은 모든 중요한 하드웨어 구성 요소의 치수 정밀도와 재료 무결성을 보장합니다.
환경 규정 준수: ISO 14001, ISO 45001 및 SEMI S2/S8 지침
전문 제조 역량은 다양한 제조 및 테스트 환경을 위한 고정밀 하드웨어를 제공함으로써 반도체 수명주기의 다양한 단계를 지원합니다.