CNC-Präzisionsbearbeitung für Halbleiter: Alles, was Sie wissen müssen | JS Precision

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Verfasst von

JS

Veröffentlicht
Jan 26 2026
  • CNC-Bearbeitung

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Die CNC-Präzisionsbearbeitung von Halbleitern ist der Grundstein für die Herstellung hochzuverlässiger Halbleiteranlagen.

Für die Halbleiteranlagen- und Bauteilfertigung sind Präzision und Zuverlässigkeit nicht nur ein zusätzlicher Vorteil, sondern unerlässlich . Ob beim Wafertransfer in die Reaktionskammer oder bei mikroskopischen Abweichungen an den Bauteilen – die Produktion kommt zum Erliegen.

In diesem Artikel erfahren Sie, wie die CNC-Präzisionsbearbeitung von Halbleitern zur Kerntechnologie in diesem hochpräzisen Bereich geworden ist. Die Analyse umfasst den gesamten Prozess, von der Fünf-Achs-Bearbeitung über die Toleranzkontrolle bis hin zur Kleinserienfertigung.

Außerdem werden wichtige Aspekte bei der Auswahl, Zusammenarbeit und Beschaffung aufgezeigt, die dabei helfen, den idealen Fertigungspartner zu finden .

Zusammenfassung der wichtigsten Antworten

Schlüsselfragen Lösungsschlüssel Kernwert
Warum ist die Fünf-Achsen-Technologie so entscheidend für Halbleiterbauteile? Die 5-Achs-CNC-Bearbeitung ermöglichte die Durchführung der komplexen Bearbeitung in einer einzigen Aufspannung mit hoher Präzision und Oberflächengüte und bildete damit die Grundlage für die Bearbeitung der Kernkomponenten. Zudem werden Klemmfehler vermieden, was die Bauteilleistung und die Zuverlässigkeit der Produktionslinie erheblich verbessert.
Wie lässt sich die absolute Genauigkeit von Bauteilen gewährleisten? Durch den Aufbau eines umfassenden Qualitätssystems mittels Kontrolle von Submikron-Toleranzen , Reinraummanagement und Materialverarbeitung. Es erfüllt die Standards der Halbleiterindustrie, wodurch die Ausfallwahrscheinlichkeit minimiert und eine unterbrechungsfreie Produktion ermöglicht wird.
Was sollte bei der Auswahl eines Partners für die Präzisionsbearbeitung beachtet werden? Streben Sie nach Branchenerfahrung, technischen Zertifizierungen, Teamfähigkeit und Engagement im Bereich Datensicherheit. Die Stabilität der Beziehungen ermöglicht es Ihnen, auf ein erweitertes Ingenieurteam zurückzugreifen, das zentrale Herausforderungen bewältigen kann.
Ist die Kleinserienfertigung für die Halbleiterforschung und -produktion geeignet? Die CNC-Bearbeitung in kleinen Serien ermöglicht schnelle Iterationen, reduziert Kosten und Lagerbestände und lässt sich nahtlos in die Massenproduktion integrieren. Es beschleunigt die Markteinführung, optimiert den Cashflow und schafft eine solide Grundlage für die Massenproduktion.

Wichtigste Erkenntnisse

  • Genauigkeit ist entscheidend: Die Toleranz von Halbleiterbauteilen muss oft innerhalb von ± 0,005 mm kontrolliert werden, und jede Abweichung kann zu Verlusten in Millionenhöhe führen.
  • Die 5-Achs-Technologie ist unverzichtbar: Für komplexe Strömungskanäle, unregelmäßige Hohlräume und andere Bauteile ist die 5-Achs-CNC-Anordnung die einzige effiziente Lösung, die deren Genauigkeits- und Integritätsanforderungen erfüllt.
  • Kleinserien sind der Schlüssel zu agiler Forschung und Entwicklung: Die CNC-Bearbeitung in kleinen Serien ermöglicht schnelle Iterationen bei extrem niedrigen Kosten für Versuch und Irrtum. Dies ist die Kernstrategie zur Beschleunigung der Produkteinführung.
  • Eine vollständige Prozesskontrolle entscheidet über Erfolg oder Misserfolg: Ausgezeichnete Lieferanten bieten nicht nur die Bearbeitung von Werkzeugmaschinen an, sondern auch eine umfassende Qualitätssicherung inklusive Reinigungsbehandlung und modernster Messtechnik.

Warum JS Precision für CNC-Präzisionsbearbeitung wählen?

Im Bereich der CNC-Präzisionsbearbeitung von Halbleitern entscheidet die Wahl des richtigen Partners über Erfolg oder Misserfolg eines Projekts. Präzision, Materialverträglichkeit und Reinheit der Halbleiterbauteile beeinflussen direkt die Ausbeute eines Wafers und die Stabilität der Produktionslinie und stellen daher extrem hohe Anforderungen an die Zulieferer.

Seit ihrer Gründung ist JS Precision seit über 15 Jahren in der Bearbeitung von Kernkomponenten für mittelständische und gehobene Kunden weltweit tätig. Die Qualitätssicherung ist im Unternehmen durch die Normen ISO 9001:2015 und SEMI S2/S8 fest verankert.

Unsere Kernvorteile liegen in der tiefen Integration von fortschrittlicher Ausrüstung, professioneller Technologie und umfassendem Service, wodurch wir in der Lage sind, die Probleme der Halbleiterkomponentenbearbeitung präzise zu lösen.

JS Precision ist mit erstklassigen 5-Achs-CNC-Maschinen ausgestattet, die sich durch eine hochsteife Konstruktion und ein lineares Encoder-Rückkopplungssystem auszeichnen. In Kombination mit einem Koordinatenmessgerät und einem Weißlichtinterferometer ermöglicht der integrierte, geschlossene Regelkreis für Bearbeitung, Prüfung und Kalibrierung eine Präzisionskontrolle im Bereich von ±0,001 mm und erfüllt die Anforderungen an Submikrometertoleranzen.

Gleichzeitig verfügt unser Ingenieurteam über umfassende Erfahrung mit den spezifischen Materialeigenschaften und der Handhabung von Halbleitern. Für komplexe Bauteile, wie beispielsweise Reaktionskammern, bieten wir maßgeschneiderte Lösungen von DFM und Prozessoptimierung bis hin zur Großserienfertigung, wodurch Bedenken hinsichtlich Materialbruch und Maßabweichungen minimiert werden.

Im Hinblick auf unser Projektportfolio haben wir bei JS Precision Präzisionsbearbeitungsprojekte für mehr als 50 internationale Erstausrüster (OEMs) durchgeführt, die auf die Herstellung von Halbleiteranlagen spezialisiert sind.

Wir haben beispielsweise ein Bearbeitungsprojekt für ein renommiertes Unternehmen abgeschlossen, bei dem wir Keramik-ES-Spannfutter mit einer Ebenheitstoleranz von unter 0,005 mm gefertigt und eine 100%ige Produktqualifizierung erreicht haben. Wir haben uns dadurch höchste Anerkennung und großes Vertrauen erworben.

Suchen Sie einen zuverlässigen Partner für die CNC-Fertigung von Halbleitern? Kontaktieren Sie das Ingenieurteam von JS Precision. Wir bieten kostenlose Fertigungsanalysen und maßgeschneiderte Bearbeitungslösungen, mit denen Sie Kosten senken und die Effizienz in der Halbleiterkomponentenfertigung steigern können.

Warum ist die 5-Achs-CNC-Bearbeitung die unvermeidliche Wahl für komplexe Halbleiterbauteile?

Bei der Bearbeitung komplexer Halbleiterbauteile liefert die traditionelle Bearbeitungsmethode möglicherweise keine besseren Ergebnisse im Hinblick auf das Gleichgewicht zwischen Effizienz und Präzision.

Die 5-Achs-CNC-Bearbeitung von Halbleiterbauteilen ist aufgrund ihrer zentralen Problemlösungsfähigkeiten in Bezug auf geometrische Komplexität, Präzisionssteuerung und Materialbearbeitung zu einem unverzichtbaren Werkzeug in der Industrie geworden.

Komplexe Geometrien meistern – Einmaliges Spannen, vollständiges Formen

Die 5-Achs-CNC-Bearbeitung ermöglicht die direkte Bearbeitung von Mehrwinkelbohrungen und unregelmäßig gekrümmten Oberflächen durch integrierte Bewegung ohne die Fehlerkonvergenz der mehrfachen Spannbearbeitung.

Diese Technologie war entscheidend für die Aufrechterhaltung der Konzentrizität und Rundheit von Bauteilen wie den Wafer-Reaktionskammern (<φ0,01 mm) und ist der herkömmlichen 3-Achs-Bearbeitungsmethode deutlich überlegen.

Streben nach ultimativer Oberflächengüte

Durch den kontinuierlichen Werkzeugweg wird eine Oberflächengüte von Ra 0,2 μm erreicht, Partikelrückstände werden reduziert und die Reinraumstandards der Klasse 10 werden erfüllt . Zudem werden die Lieferzyklen um mehr als 30 % verkürzt, ohne die Oberflächen durch das herkömmliche Schleifverfahren zu beschädigen.

Die Beherrschung schwer zerspanbarer Werkstoffe

Spezielle Legierungen und Keramiken, die üblicherweise für Halbleiterbauteile verwendet werden, weisen bestimmte besondere Eigenschaften auf. Daher sind die Vorteile der 5-Achs-CNC-Bearbeitung für diese Werkstoffe erheblich. Die Bearbeitungsparameter für diese Werkstoffe sind wie folgt:

Materialart Härte Schnittgeschwindigkeit (m/min) Vorschubgeschwindigkeit (mm/U) Schnitttiefe (mm) Werkzeugmaterial
Aluminiumoxidkeramik ≥150 HRC 20-35 0,05-0,12 0,1-0,3 PCD
Hastelloy C276 28-32HRC 60-90 0,10-0,18 0,2-0,5 Beschichtetes Hartmetall
Titanlegierung Ti-6Al-4V 30-35 HRC 80-120 0,08-0,15 0,15-0,4 CBN
PEEK-Kunststoff Shore D85-90 150-220 0,20-0,30 0,3-0,8 HSS
Edelstahl 316L 18-22 HRC 100-150 0,12-0,22 0,25-0,6 TiN-beschichtete Hartlegierung

Sie müssen komplexe Halbleiterbauteile bearbeiten lassen? Senden Sie uns jetzt Ihre Bauteilzeichnungen und technischen Anforderungen. JS Precision nutzt seine professionelle 5-Achs-CNC-Bearbeitungsanlage für die Halbleiterfertigung, um Ihnen hochpräzise und effiziente Bearbeitungsdienstleistungen zu bieten und so Ihre Produktentwicklungszeit zu verkürzen.

5-Achs-CNC-Bearbeitung von Halbleiterteilen Abbildung 1 Die Fünf-Achs-Bearbeitungstechnologie bietet eine unübertroffene Effizienz bei der Bearbeitung komplexer geometrischer Formen.

Wie gewährleistet die hochpräzise CNC-Bearbeitung die Ausfallsicherheit von Halbleiterbauteilen?

Hochpräzise CNC-Bearbeitung ist der Schlüssel für den fehlerfreien Betrieb von Halbleiterbauteilen. Die Halbleiterindustrie ist stark auf Bauteilpräzision angewiesen, insbesondere für eine optimale Leistung; daher ist die Maschinengenauigkeit von Qualitätsaspekten abhängig.

Definition von hoher Präzision: Typische CNC-Bearbeitungstoleranzen im Halbleiterbereich

Es zeichnet sich dadurch aus, dass die Bauteile eine sehr hohe Toleranz aufweisen müssen. Verschiedene Bauteile erfordern unterschiedliche Präzisionsindikatoren. Die folgende Tabelle zeigt typische Toleranzanforderungen für gängige Halbleiterbauteile:

Teileart Toleranzanforderung Anwendungsrelevanz
Positionierstiftloch ±0,005 mm Gewährleistet eine präzise Teilepositionierung und vermeidet Montagespalten.
Dichtfläche <0,01 mm/100 mm Gewährleistet Vakuumversiegelung und verhindert Verunreinigungen durch Partikel.
Waferträger ±0,003 mm Sorgt für die Ebenheit der Wafer und gewährleistet eine gleichmäßige Verarbeitung.
Innenwand der Reaktionskammer <φ0,008 mm Gewährleistet ein einheitliches Prozessumfeld und verbessert die Produktqualität.
Gasdüse ±0,002 mm Regelt Gasdurchflussrate und -richtung und stabilisiert so den Prozess.

Diese Toleranzwerte werden nicht willkürlich festgelegt, sondern basieren auf dem Funktionsprinzip und der Einsatzumgebung von Halbleiteranlagen und stellen auch den Kern der CNC-Bearbeitungstoleranzen im Halbleiterbereich dar.

Die Ebenheit der Dichtfläche beeinflusst beispielsweise direkt die Vakuumhaltefähigkeit der Anlage. Wird der zulässige Grenzwert überschritten, kann dies zu Vakuumverlusten führen und den ordnungsgemäßen Prozessablauf beeinträchtigen. Dies unterstreicht die Bedeutung der präzisen Einhaltung der CNC-Bearbeitungstoleranzen .

Aufbau einer Qualitätsfestung: Vollständige Prozessprüfung und -kontrolle

JS Precision setzt ein dreifaches Kontrollsystem für Präzision ein: Online-Sonden überwachen und passen Parameter in Echtzeit an und erreichen so eine Regelung im geschlossenen Regelkreis. Die fertigen Produkte werden alle mit Koordinatenmessgeräten und anderen Geräten geprüft. Wichtige Prozesse werden in einem Reinraum bei 20±0,5 ℃ und 45% - 60% Luftfeuchtigkeit durchgeführt, um Umwelteinflüsse zu vermeiden.

Präzises Zusammenwirken von Materialien und Prozessen

Prozessoptimierung für verschiedene Werkstoffe: Die Aluminiumlegierung 6061-T6 wird vor der Bearbeitung geglüht, um Spannungen abzubauen. Nach der Bearbeitung von Edelstahl 316L erfolgt eine Passivierung zum Korrosionsschutz, während PEEK-Werkstoffe bei niedrigen Temperaturen geschnitten werden können, um Verformungen zu vermeiden und Defekte von vornherein zu reduzieren.

hochpräzise CNC-Bearbeitung Abbildung 2 Halbleiterbauelemente sind extrem klein und erfordern typischerweise komplexe Strukturen und strenge Toleranzvorgaben.

Ist die CNC-Kleinserienfertigung die richtige Strategie für die Halbleiterforschung und -entwicklung sowie die Produktion?

Die Halbleiterindustrie, die sich durch ein rasantes Tempo des technologischen Fortschritts und Schwankungen der Marktnachfrage auszeichnet, ist ein Schlüsselbereich, der von der effizienten Unterstützung durch CNC-Kleinserienbearbeitung profitiert. Diese vereint die Faktoren „ effizient, kostengünstig und flexibel “ und spielt eine entscheidende Rolle für die Unterstützung der Branche.

Agiler Weg vom Prototyp zur Verifizierung

Bei der Kleinserienfertigung lassen sich Prototypen und Testserien in 2–4 Wochen realisieren. Dadurch verkürzt sich die Produktentwicklungszeit im Vergleich zu herkömmlichen Großserienfertigungstechniken um 30–50 % und sichert so eine schnelle Markterschließung.

Reduzierte Lager- und Versuchskosten

Hohe Investitionen in Formen sind nicht erforderlich, die Fertigung kann direkt anhand von 3D-Modellen erfolgen, wodurch Ausschuss und Lagerbestände vermieden werden, die Kosten für Forschung und Entwicklung durch Versuch und Irrtum können um 40-60 % gesenkt werden , und häufige Designanpassungen sind möglich.

Nahtlose Integration in die Massenproduktion: Prozesskonsistenz

Durch standardisierte Programmierung, Werkzeugausstattung und Prozessmanagement kann JS Precision die Parameter der Testproduktion direkt für die Massenproduktion wiederverwenden und so Qualität gewährleisten und Zeit sparen.

Vergleichsmetriken CNC-Kleinserienbearbeitung Traditionelle Massenproduktion
Investitionen in Formmetalle Keine Investition 10.000 bis 100.000 US-Dollar
Produktionszyklus 2-4 Wochen 8-12 Wochen
Kosten für Versuch und Irrtum Niedrige, flexible Parametereinstellung Hohe, umständliche Formmodifikation
Lagerdruck Produktion auf Abruf, niedriger Druck Erfordert Lagerhaltung und hohen Druck.
Anwendbare Szenarien F&E-Prototypen, Kleinserien F&E-Prototypen, Kleinserien.

Worauf sollten Sie bei der Auswahl eines Partners für Präzisionsbearbeitungsdienstleistungen für Halbleiteranwendungen achten?

Die Auswahl des richtigen Anbieters von Präzisionsbearbeitungsdienstleistungen ist für die Halbleiterkomponentenfertigung unerlässlich. Qualifizierte Partner liefern nicht nur hochpräzise Produkte, sondern bieten auch umfassende Unterstützung wie technische Beratung und Lieferkettensicherung .

Daher sollten Halbleiterkomponentenhersteller bei der Auswahl des richtigen Anbieters von CNC-Fertigungsdienstleistungen für Halbleiter bestimmte Merkmale berücksichtigen.

Erfahrung statt Parameter: Fundiertes Branchenwissen

Sie sollten über Fachkenntnisse in den Bereichen verfügen, die mit den Anforderungen an die Halbleiterausrüstung hinsichtlich der Partikelgröße, der Gasausstoßrate sowie der Bearbeitbarkeit der in der Ausrüstung verwendeten Materialien, einschließlich des EFEM-Rahmens und der Gasverteilungsscheibe , sowie anderer Anforderungen zusammenhängen.

Eine visualisierte Liste von Fähigkeiten und Qualifikationen

Zu den wichtigsten Bewertungskriterien gehören der Besitz eines Clusters von CNC-Maschinen mit mindestens fünf Achsen und Präzisionsbearbeitungsfähigkeit durch das Unternehmen, die Zertifizierung durch das interne Labor von CNAS, die SEMI S2 /SEMI S8 Zertifizierung und die Fähigkeit zur Unterstützung der fertigungsgerechten Konstruktion.

Eine zuverlässige Lieferkette und transparente Zusammenarbeit

Darüber hinaus müssen die Lieferanten eine termingerechte Lieferquote von über 95 % gewährleisten, Projektingenieure den Projekten zuweisen und eine transparente Kommunikation mit den Kunden von der Designempfehlung bis zum Abschluss sicherstellen, damit die Kunden die Projekte in Echtzeit überwachen können.

Wenn Sie sich bei der Auswahl eines Partners für Präzisionsbearbeitungsdienstleistungen unsicher sind, beschreiben Sie bitte Ihre wichtigsten Anforderungen und kontaktieren Sie uns. JS Precision stellt Ihnen eine detaillierte Liste von Anbietern zur Verfügung und bietet Ihnen eine professionelle Beratung, um Sie bei der Auswahl des am besten geeigneten Partners für die Halbleiterkomponentenfertigung zu unterstützen.

Halbleiter-CNC-Fertigung Abbildung 3 Moderne Präzisionsbearbeitung nutzt computergesteuerte Anlagen zur Herstellung komplexer Teile, um den wachsenden Anforderungen der Halbleiterindustrie gerecht zu werden.

Wie erhält man ein genaues und transparentes Angebot für die Bearbeitung von Halbleiterbauteilen?

Die Einholung eines präzisen und transparenten Angebots für die Bearbeitung von Halbleiterbauteilen ist ein wichtiger Schritt bei der Beschaffung von Halbleiterkomponenten. Ein faires Angebot hilft Ihnen , Kosten zu kontrollieren und zukünftige Streitigkeiten in der Zusammenarbeit zu vermeiden . Um ein qualitativ hochwertiges Angebot zu erhalten, ist eine gute Vorbereitung und das korrekte Verständnis des Angebotsinhalts unerlässlich.

Wichtige Informationen für Angebote: Bitte geben Sie diese Schlüsselpositionen an.

Bei der Anfrage nach einem Angebot müssen Sie detaillierte Informationen angeben, wie z. B. 3D-/2D-Zeichnungen und detaillierte Toleranzen, Materialanforderungen, erforderliche Materialien und/oder Zertifizierungen, erforderliche Oberflächenbehandlungen und Reinheit, Menge, Liefertermin, betriebliche Anforderungen und gegebenenfalls besondere Anforderungen.

Kostenaufschlüsselung: Fünf Kernfaktoren, die die Preisgestaltung beeinflussen

Das Angebot für die Bearbeitung von Halbleiterbauteilen besteht im Wesentlichen aus folgenden fünf Teilen:

Kostenzusammensetzung Spezifische Inhalte Prozentsatz des Gesamtangebots
Materialkosten Kosten für Rohstoffe wie beispielsweise Aluminiumlegierungsbleche in Halbleiterqualität und Spezialkeramiken. 20%-30%
Kosten für Programmierung und Werkzeugvorbereitung Zeitaufwand für die computergestützte Fertigungsprogrammierung, die Werkzeugkonstruktion und die Vorrichtungsherstellung. 15%-20%
Kosten der Werkzeugmaschinenbelegung Tatsächliche Bearbeitungszeitkosten der Teile auf CNC-Maschinen. 30%-40%
Kosten der Weiterverarbeitung Kosten nachfolgender Prozesse wie Oberflächenbehandlung, Reinigung und Wärmebehandlung. 10%-15%
Kosten der Qualitätsprüfung Kosten der vollständigen Prozessprüfung mit hochpräzisen Instrumenten. 5%-10%

Gewinnen Sie Einblick in die Professionalität des Lieferanten durch Angebote

Ein Zitat eines Experten spiegelt die Stärke und Ernsthaftigkeit seiner Zusammenarbeit wider. Bei der Analyse eines Zitats sollten folgende Aspekte beachtet werden:

  • Handelt es sich um ein detailliertes Angebot (d. h. sind alle Kostenpositionen separat aufgeführt)?
  • Enthält es alternative Verarbeitungsvorschläge zur Kostenreduzierung?
  • Beinhaltet das Angebot explizit Testberichte, Qualitätszusagen und Geheimhaltungsvereinbarungen zum geistigen Eigentum?

Sie benötigen ein präzises Angebot für die Bearbeitung von Halbleiterbauteilen ? Laden Sie Ihre Bauteilzeichnungen und technischen Anforderungen hoch. JS Precision erstellt Ihnen innerhalb von 3 Werktagen ein detailliertes und transparentes Angebot, in dem die Kostenstruktur und die Bearbeitungslösungen Schritt für Schritt erläutert werden.

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Fallstudie: JS Precision meistert die Herausforderung der 0,005 mm Planheit bei Halbleiterkeramik

Im Bereich der CNC-Präzisionsbearbeitung von Halbleitern gilt die Bearbeitung hochpräziser Keramikteile als zentrale technische Herausforderung. Das erfolgreiche Bearbeitungsprojekt eines elektrostatischen Keramikspannfutters (ESC) mit sehr hohen Anforderungen an die Planheit durch JS Precision unterstreicht die hohe Kompetenz des Unternehmens in der hochpräzisen CNC-Bearbeitung.

Kundenherausforderung: Extrem hohe Anforderungen an die Planheit von keramischen Elektrostatikspannfuttern

Ein führender Hersteller von Halbleiteranlagen benötigt kundenspezifische, elektrostatische Spannfutter aus Aluminiumoxid, Keramik für seine neuen Waferfertigungsanlagen. Zu den wichtigsten technischen Merkmalen der benötigten Spannfutter gehören:

Die kritische Grenzfläche muss eine Ebenheit von < 0,005 mm, eine Oberflächenrauheit von < 0,1 µm aufweisen, und es dürfen keine Mikrorisse auftreten. Herkömmliche Schleifverfahren können diese Anforderungen nicht gleichzeitig erfüllen, weshalb der Kunde bereits mehrere Materiallieferanten konsultiert hat.

JS Precision Solution: Innovative Prozesse vereint mit höchster Kontrolle

Um den Bedürfnissen und Schwierigkeiten des Kunden gerecht zu werden, entwickelte das Ingenieurteam von JS Precision eine maßgeschneiderte Lösung unter Verwendung der firmeneigenen Verarbeitungstechnologie:

1. Kundenspezifische Prozessentwicklung: Die ultraschallunterstützte Fünf-Achs -Präzisionsfrästechnologie ersetzte die Schleifprozesse. Kundenspezifische Schneidwerkzeuge aus synthetischen Diamanten gewährleisteten hohe Abtragsraten bei gleichzeitiger Vermeidung von Beschädigungen im Untergrund.

2. Umgebungs- und Prozesskontrolle: Der gesamte Prozess wurde in einem temperaturkontrollierten Reinraum ( 20 ± 0,5 °C ) durchgeführt. Online-Sonden dienten der Fehlerkompensation in Echtzeit sowie der Spannungsarmglühung.

3. Mehrdimensionale Endkontrolle: Nach der Bearbeitung werden für die Endkontrolle planare Interferometrie und ein Weißlichtprofilometer mit flächendeckenden Scans zur Konformitätsprüfung eingesetzt.

Quantitative Ergebnisse: Hervorragende Leistung, stabile Lieferung

Beispielsweise betrug die Oberflächenebenheit des gelieferten Artikels 0,003 mm, was bedeutet, dass dieser Wert um 40 % übertroffen wurde. Darüber hinaus wies die Oberfläche des Artikels keinerlei Mikrorisse auf. Neben diesen Aspekten wurde das Projekt innerhalb von acht Wochen abgeschlossen, was bedeutet, dass es die Fertigstellung eines neuen Modells für den Kunden unterstützte.

Stehen Sie vor ähnlichen Herausforderungen bei der hochpräzisen Bearbeitung von Halbleiterbauteilen? Kontaktieren Sie JS Precision, um alle Details zu erfahren. Unsere Ingenieure entwickeln mit hochpräziser CNC-Bearbeitung eine Lösung, die Ihre Anforderungen erfüllt und Ihre technologischen Grenzen überwindet.

Halbleiter-CNC-Präzisionsbearbeitung Abbildung 4: Elektrostatischer Saugnapf aus Aluminiumoxidkeramik

Häufig gestellte Fragen

Frage 1: Was ist CNC-Präzisionsbearbeitung in der Halbleiterindustrie? Wie unterscheidet sie sich von der herkömmlichen CNC-Bearbeitung?

Die CNC-Präzisionsbearbeitung von Halbleitern ist ein speziell für Bauteile von Halbleiteranlagen entwickeltes Bearbeitungsverfahren. Es übertrifft die Standards herkömmlicher Industriezweige bei Weitem durch den Einsatz von hochpräzisen Werkzeugmaschinen, Reinraumumgebungen, speziellen Materialbearbeitungsverfahren und Prüfungen im Submikrometerbereich. Dadurch wird eine extrem hohe Zuverlässigkeit der Bauteile gewährleistet, die mit herkömmlichen CNC-Bearbeitungsmethoden kaum zu erreichen ist.

Frage 2: Welche gängigen Halbleitermaterialien kann JS Precision verarbeiten?

Es ist möglich, eine breite Palette von Werkstoffen zu verarbeiten, darunter die wichtigen Klassen von Knetwerkstoffen: Al-Legierungen der Sorten 6061-T6, 5052, Edelstahl 316L, 304, Titanlegierungen, Nickellegierungen sowie hochentwickelte technische Keramikwerkstoffe wie Aluminiumoxid und Aluminiumnitrid, zusätzlich zu wichtigen technischen Kunststoffen wie PEEK, VESPEL usw.

Frage 3: Was ist das kleinste Teil, das Sie bearbeiten können? Welche Toleranzgrenzen gelten?

Die kleinste Bauteilgröße, die JS Precision bearbeiten kann, beträgt 0,1 mm für Mikrobauteile. Die übliche Toleranz von JS Precision liegt bei ±0,005 mm, jedoch akzeptiert JS Precision auch Toleranzgrenzen von ±0,002 mm .

Frage 4: Wie stellen Sie die Sauberkeit während der Verarbeitung sicher und verhindern eine Kontamination mit Partikeln?

JS Precision verwendet in mehreren seiner Prozesse Reinraumtechniken, darunter spezielle Werkzeuge und Kühlschmierstoffe sowie Nachbearbeitungsverfahren wie Ultraschallreinigung und Plasmareinigung, um sicherzustellen, dass die Teile den erforderlichen Reinheitsgrad, z. B. ISO-Klasse 5 , erreichen, bevor sie das Lager verlassen.

Frage 5: Bieten Sie Oberflächenbehandlungs- und Nachbearbeitungsdienstleistungen an?

Ja, JS Precision bietet Komplettlösungen für Anodisieren, stromloses Vernickeln, Elektropolieren und Laserbeschriften. Darüber hinaus erfüllen alle Behandlungen die Anforderungen an Kontaminationsvermeidung und Korrosionsbeständigkeit in der Halbleiterindustrie.

Frage 6: Wie lange dauert es in der Regel von der Anfrage bis zum Erhalt der Muster?

JS Precision erstellt Ihnen innerhalb von 3 Werktagen nach Dateneingang ein detailliertes Angebot. Die Anfertigung einfacher Musterteile dauert ca. 2–3 Wochen, die komplexerer Muster ca. 4–6 Wochen.

Frage 7: Unterstützt das Unternehmen den Übergang vom Prototypen zur Serienproduktion?

Ein wesentlicher Vorteil von JS Precision ist die umfassende Unterstützung, die gewährleistet, dass die während der Prototypenphase validierten Prozessparameter und Qualitätskontrollstandards nahtlos in die anschließende Großserienproduktion übertragen werden können.

Frage 8: Welche Unterstützung wird geleistet, wenn bei der Montage oder Prüfung von Teilen Probleme auftreten?

JS Precision bietet umfassenden technischen Kundendienst. Sollten dabei Probleme im Zusammenhang mit der Fertigung auftreten, konzentrieren wir uns auf die Ursachenforschung, um eine Lösung zu finden.

Zusammenfassung

Im Endeffekt der Halbleiterfertigung bestimmen die Präzision und Zuverlässigkeit der Bauteile unmittelbar die Leistungsgrenzen der Anlagen.

Die CNC-Präzisionsbearbeitung von Halbleitern ist nicht einfach nur die Verarbeitung eingehender Materialien , sondern ein System, das modernste Ausrüstung, fundiertes Prozesswissen und ein strenges Qualitätsmanagement integriert.

JS Precision ist der ideale Partner für Toleranzen bis zu ±0,005 mm, komplexe Keramikwerkstoffe und die Bearbeitung komplexer Fünf-Achs-Oberflächen. Mit JS Precision erhalten Sie Zugang zu einem umfassenden Ingenieurteam, das die Branche versteht und anspruchsvolle Herausforderungen löst.

Bitte senden Sie uns Ihre Teilezeichnung und die technischen Anforderungen. Das Expertenteam von JS Precision entwickelt für Sie eine maßgeschneiderte Lösung inklusive Fertigungsanalyse, transparenter Kostenaufstellung und einem realisierbaren Lieferplan. Lassen Sie uns gemeinsam dafür sorgen, dass Ihre Anforderungen an Präzision zum entscheidenden Wettbewerbsvorteil Ihres Produkts werden.

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Haftungsausschluss

Die Inhalte dieser Seite dienen ausschließlich Informationszwecken. JS Precision Services übernimmt keine Gewähr für die Richtigkeit, Vollständigkeit oder Gültigkeit der Informationen. Es kann nicht davon ausgegangen werden, dass ein Drittanbieter oder Hersteller über das JS Precision Netzwerk Leistungsparameter, geometrische Toleranzen, spezifische Konstruktionsmerkmale, Materialqualität und -art oder Verarbeitungsqualität bereitstellt. Es liegt in der Verantwortung des Käufers , ein Teileangebot anzufordern und die spezifischen Anforderungen für diese Abschnitte zu ermitteln. Bitte kontaktieren Sie uns für weitere Informationen .

JS Precision Team

JS Precision ist ein branchenführendes Unternehmen mit Fokus auf kundenspezifische Fertigungslösungen. Wir verfügen über mehr als 20 Jahre Erfahrung und betreuen über 5.000 Kunden. Unser Schwerpunkt liegt auf hochpräziser CNC-Bearbeitung , Blechbearbeitung , 3D-Druck , Spritzguss , Metallstanzen und weiteren Komplettlösungen für die Fertigung.

Unser Werk ist mit über 100 hochmodernen 5-Achs-Bearbeitungszentren ausgestattet und nach ISO 9001:2015 zertifiziert. Wir bieten unseren Kunden in über 150 Ländern weltweit schnelle, effiziente und qualitativ hochwertige Fertigungslösungen. Ob Kleinserien oder kundenspezifische Großprojekte – wir erfüllen Ihre Anforderungen mit schnellster Lieferzeit innerhalb von 24 Stunden. Mit JS Precision entscheiden Sie sich für Effizienz, Qualität und Professionalität.
Weitere Informationen finden Sie auf unserer Website: www.cncprotolabs.com

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Experte für Rapid Prototyping und Rapid Manufacturing

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